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                                              贵在细节的半导体工艺,你懂多少?
                                              发布时间:2019-01-05
                                              浏?#26469;问?span>337 次

                                                现在社会几乎是人手一部手机,很多人也跟缺了它便无法生活一样,但是,你们又知不知道一部手机完成需要多少的零件,怎样的工艺呢?很多电子产品上面的电源管理芯片、场效应管、肖特基二极管等的制作可是都不简单的。下面我们来了解一点关于制作时所需要注意的一点点事项。

                                                一般的机?#23548;?#24037;是不需要洁净室的,因为加工分辨率在数十微米以上,远比日常环境的微尘颗粒要大。但进入半导体组件或微细加工的世界,空间单位都是以微米计算,因此微尘颗粒沾附在制作半导体组件的晶圆上,便有可能影响到其上精密导线布局的样式,造成电?#36828;?#36335;或?#19979;?#30340;?#29616;?#21518;果。
                                                
                                                为此,所有半导体制程设?#31119;?#37117;必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中,这就是洁净室的来由。洁净室的洁净等级,有一公认的标准,以class10为例,意谓在单位立方英尺的洁净室空间内,平均只有粒径0.5微米以上的粉尘10粒。所以class后头数字越小,洁净度越佳,当然其造价也越昂贵。
                                                
                                                为营造洁净室的环?#24120;?#26377;专业的建造厂家,及其相关的技术与使用管理办法如下:
                                                
                                                1、内部要保持大于一大气压的环?#24120;?#20197;确保粉尘只出不进。所以需要大型鼓风机,将经滤网的空气源源不绝地打入洁净室中。
                                                
                                                2、为保持温度与湿度的恒定,大型空调设备须搭配于前述之鼓风加压系统中。换言之,鼓风机加压多久,冷气空调?#37096;?#22810;久。
                                                
                                                3、所有气流方向均由上往下为主,尽量减少?#22238;?#20043;室内空间设计或机台摆放调配,使粉尘在洁净室内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。
                                                
                                                4、所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。
                                                
                                                5、所有人事物进出,都必须经过空气吹浴(airshower)的程序,将表面粉尘先行去除。
                                                
                                                6、人体及衣物的毛屑是一项主要粉尘来源,为此务必?#32454;?#35201;求进出使用人员穿戴无尘衣,除了眼睛部位外,均需与外界隔绝接触(在次微米制程技术的工厂内,工作人员几乎穿戴得像航天员一样。)当然,化妆是在禁绝之内,铅笔等也禁止使用。
                                                
                                                7、除了空气外,水的使用也只能限用去离子水(DIwater,de-ionizedwater)。一则防?#39038;?#20013;粉粒污染晶圆,二则防?#39038;?#20013;重金属离子,如钾、钠离子污染金氧半(MOS)晶体管结构的带电载子信道(carrierchannel),影响半导体组件的工作特性。去离子水以电阻率(resistivity)来定义好坏,一般要求至17.5MΩ-cm以上才算?#32454;瘢?#20026;此需动用多重离子?#25442;?#26641;脂、RO逆渗透、与UV紫外线杀菌等重重关卡,才能放行使用。由于去离子水是最佳的溶剂与清洁?#31890;?#20854;在半导体工业的使用量极为惊人!
                                                
                                                8、洁净室所有用到的气源,包括吹干晶?#24067;?#26426;台空压所需要的,都得使用氮气(98),吹干晶圆的氮气甚至要求99.8以上的高纯氮! 以上八点说明是最基本的要求,另还有污水处理、废气排放的环保问题,再需要大笔大笔的建造与维护费用!

                                                由这么一个环节我们就知道建造一处晶圆厂房供于国内的半导体产业是有多么不易,除去要耗费的资金、材料与人力,正式启动工作计划也是不容易的,有很多的细节需要注意,可谓失之毫厘差之千里。晶圆厂房里面生产的不管是场效应管还是肖特基、桥堆等元器件都是一项很值得注意,一定要细心仔细的操作。做到所有的事按照制定的规则来完成。保证万无一失。

                                              湖北十一选五规则
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